一种研磨液中央供应系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720487908.9

申请日：

2017-05-04

公开(公告)号：

CN207223702U

公开(公告)日：

2018-04-13

发明(设计)人：

李春黄荣燕

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B5702

代理机构：

青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104

代理人：

黄晓敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[2]

研磨液供应装置 [P].

左少杰 ;

詹明松 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201728595U ,2011-02-02

[3]

一种化学研磨液的供应系统 [P].

罗保兴 ;

杨凯 .

中国专利 :CN212762852U ,2021-03-23

[4]

多孔环绕型研磨液供应系统和研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202702035U ,2013-01-30

[5]

一种研磨液供应装置 [P].

李春 .

中国专利 :CN206855264U ,2018-01-09

[6]

一种化学机械研磨中的研磨液供应系统 [P].

陈威 ;

王怀锋 ;

詹明松 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN102233546A ,2011-11-09

[7]

一种自清洁的研磨液中央供应系统 [P].

刘智功 ;

周祖源 ;

薛兴涛 .

中国专利 :CN118990338A ,2024-11-22

[8]

一种研磨液供应装置及研磨系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 .

中国专利 :CN220498818U ,2024-02-20

[9]

一种新型研磨液供应系统 [P].

张久华 .

中国专利 :CN212918939U ,2021-04-09

[10]

研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN112405355B ,2021-02-26

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