共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种研磨液供应装置及研磨系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321831615.X
申请日：
2023-07-12
公开(公告)号：
CN220498818U
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
戴翔
陈鸿泽
申请人：
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请人地址：
201807 上海市嘉定区娄陆公路497号
IPC主分类号：
B24B37/04
IPC分类号：
B24B37/34
B24B57/02
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
姚璐华
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
市辖区
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 授权 | 授权 |