研磨液供应系统和研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420417078.9

申请日：

2014-07-25

公开(公告)号：

CN203993559U

公开(公告)日：

2014-12-10

发明(设计)人：

王建雄唐强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

多孔环绕型研磨液供应系统和研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202702035U ,2013-01-30

[2]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[3]

研磨液供应系统 [P].

许文泉 .

中国专利 :CN102806526A ,2012-12-05

[4]

研磨液供应系统及研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

徐伟伦 .

中国专利 :CN223492977U ,2025-10-31

[5]

研磨液供应装置 [P].

左少杰 ;

詹明松 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201728595U ,2011-02-02

[6]

研磨液混合与供应系统 [P].

郑火龙 .

中国专利 :CN217530497U ,2022-10-04

[7]

简易式研磨液供应系统 [P].

王怀锋 ;

詹明松 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201455812U ,2010-05-12

[8]

带有研磨液供应功能的研磨头及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN202592202U ,2012-12-12

[9]

研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN112405355B ,2021-02-26

[10]

多功能研磨液供应结构及研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN203245737U ,2013-10-23

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