一种减少研磨液粒子聚集的控制装置及研磨液供应系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421064164.6

申请日：

2024-05-15

公开(公告)号：

CN222472065U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

戴翔陈鸿泽雷炀烊杨忠宇

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

B24B37/005 B24B57/02 B24B49/12

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

张磊

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[2]

一种研磨液供应装置及研磨系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 .

中国专利 :CN220498818U ,2024-02-20

[3]

研磨液供应系统及研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

徐伟伦 .

中国专利 :CN223492977U ,2025-10-31

[4]

一种研磨液存储装置及研磨液供应系统 [P].

陈威 ;

王怀峰 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201677237U ,2010-12-22

[5]

研磨液供应系统和研磨装置 [P].

王建雄 ;

唐强 .

中国专利 :CN203993559U ,2014-12-10

[6]

研磨液供应系统 [P].

许文泉 .

中国专利 :CN102806526A ,2012-12-05

[7]

一种新型研磨液供应系统 [P].

张久华 .

中国专利 :CN212918939U ,2021-04-09

[8]

研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN112405355B ,2021-02-26

[9]

研磨液混合与供应系统 [P].

郑火龙 .

中国专利 :CN217530497U ,2022-10-04

[10]

简易式研磨液供应系统 [P].

王怀锋 ;

詹明松 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201455812U ,2010-05-12

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