一种新型研磨液供应系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021829393.4

申请日：

2020-08-27

公开(公告)号：

CN212918939U

公开(公告)日：

2021-04-09

发明(设计)人：

张久华

申请人：

申请人地址：

200131 上海市浦东新区自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1－2部位

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B24B3734 B24B5702

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司 31253

代理人：

杨军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型研磨液供应系统 [P].

刘俊成 .

中国专利 :CN112775844A ,2021-05-11

[2]

研磨液供应系统 [P].

许文泉 .

中国专利 :CN102806526A ,2012-12-05

[3]

研磨液混合与供应系统 [P].

郑火龙 .

中国专利 :CN217530497U ,2022-10-04

[4]

简易式研磨液供应系统 [P].

王怀锋 ;

詹明松 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201455812U ,2010-05-12

[5]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[6]

一种研磨液供应装置及研磨系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 .

中国专利 :CN220498818U ,2024-02-20

[7]

一种研磨液中央供应系统 [P].

李春 ;

黄荣燕 .

中国专利 :CN207223702U ,2018-04-13

[8]

研磨液供应系统和研磨装置 [P].

王建雄 ;

唐强 .

中国专利 :CN203993559U ,2014-12-10

[9]

一种减少研磨液粒子聚集的控制装置及研磨液供应系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 ;

雷炀烊 ;

杨忠宇 .

中国专利 :CN222472065U ,2025-02-14

[10]

一种研磨液存储装置及研磨液供应系统 [P].

陈威 ;

王怀峰 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201677237U ,2010-12-22

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