研磨液供应装置、供应方法及研磨系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311385891.2

申请日：

2023-10-24

公开(公告)号：

CN117564941A

公开(公告)日：

2024-02-20

发明(设计)人：

戴翔陈鸿泽雷炀烊戚智超

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

B24B57/00 B24B37/34 B01F31/50

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-20	公开	公开
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 57/02申请日:20231024

共 50 条

[1]

一种研磨液供应装置及研磨系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 .

中国专利 :CN220498818U ,2024-02-20

[2]

研磨液供应装置 [P].

左少杰 ;

詹明松 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201728595U ,2011-02-02

[3]

研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN112405355B ,2021-02-26

[4]

砂磨介质供应装置、系统及供应方法 [P].

陈吕 ;

陈萌 ;

杨亚妮 .

中国专利 :CN119319022A ,2025-01-17

[5]

循环液供应装置及循环液供应方法 [P].

胡显春 ;

温德烙 ;

覃朝真 ;

郭召永 ;

吕启涛 ;

高云峰 .

中国专利 :CN107588221A ,2018-01-16

[6]

研磨液供应装置和包括研磨液供应装置的抛光设备 [P].

裴栽贤 ;

韩基润 .

中国专利 :CN105364719B ,2016-03-02

[7]

研磨浆供应系统及无尘室 [P].

李善雄 .

中国专利 :CN112536722A ,2021-03-23

[8]

材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110876992A ,2020-03-13

[9]

一种研磨液供应装置、系统及方法 [P].

翁杰 ;

雷烊炀 ;

陈鸿泽 ;

孙建锋 .

中国专利 :CN115464561A ,2022-12-13

[10]

处理液供应装置以及处理液供应方法 [P].

李茂贤 .

韩国专利 :CN114724974B ,2025-11-21

← 1 2 3 4 5 →