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研磨液混料供应系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910310017.X
申请日
:
2019-04-17
公开(公告)号
:
CN111604807A
公开(公告)日
:
2020-09-01
发明(设计)人
:
徐宏信
邱彦岚
申请人
:
申请人地址
:
中国台湾新竹县湖口乡工业园区复兴路10号
IPC主分类号
:
B24B37005
IPC分类号
:
B24B5702
代理机构
:
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人
:
贾慧琴;刘琰
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-25
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20190417
2020-09-01
公开
公开
2021-11-09
授权
授权
共 50 条
[1]
研磨液供应系统
[P].
许文泉
论文数:
0
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0
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0
许文泉
.
中国专利
:CN102806526A
,2012-12-05
[2]
研磨液供应系统及研磨设备
[P].
廖帆伟
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
廖帆伟
;
徐伟伦
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
徐伟伦
.
中国专利
:CN223492977U
,2025-10-31
[3]
研磨液供应系统和研磨装置
[P].
王建雄
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王建雄
;
唐强
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唐强
.
中国专利
:CN203993559U
,2014-12-10
[4]
研磨液混合与供应系统
[P].
郑火龙
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0
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郑火龙
.
中国专利
:CN217530497U
,2022-10-04
[5]
简易式研磨液供应系统
[P].
王怀锋
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王怀锋
;
詹明松
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詹明松
;
余文军
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余文军
;
曹开玮
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曹开玮
.
中国专利
:CN201455812U
,2010-05-12
[6]
研磨液自动混合供应系统
[P].
胡厚福
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机构:
苏州冠礼科技有限公司
苏州冠礼科技有限公司
胡厚福
;
邵艳荣
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机构:
苏州冠礼科技有限公司
苏州冠礼科技有限公司
邵艳荣
;
喻泽喜
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机构:
苏州冠礼科技有限公司
苏州冠礼科技有限公司
喻泽喜
;
刘颂
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机构:
苏州冠礼科技有限公司
苏州冠礼科技有限公司
刘颂
;
刘震
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苏州冠礼科技有限公司
苏州冠礼科技有限公司
刘震
;
柯志操
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机构:
苏州冠礼科技有限公司
苏州冠礼科技有限公司
柯志操
.
中国专利
:CN119319532A
,2025-01-17
[7]
研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备
[P].
田得暄
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田得暄
;
辛君
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辛君
;
吴龙江
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吴龙江
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN208913880U
,2019-05-31
[8]
研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法
[P].
沙酉鹤
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0
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0
沙酉鹤
.
中国专利
:CN112405355B
,2021-02-26
[9]
多孔环绕型研磨液供应系统和研磨装置
[P].
唐强
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0
唐强
.
中国专利
:CN202702035U
,2013-01-30
[10]
一种研磨液中央供应系统
[P].
李春
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李春
;
黄荣燕
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0
黄荣燕
.
中国专利
:CN207223702U
,2018-04-13
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