化学机械研磨设备及其研磨单元

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010616677.X

申请日：

2010-12-30

公开(公告)号：

CN102528643A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

蒋莉黎铭琦

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B906 B24B5700 B24B53017 H01L21304

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322519403 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:201010616677X 申请日:20101230
2012-07-04	公开	公开
2012-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101487380112 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:201010616677X 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121115
2016-02-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727964555 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:201010616677X 申请公布日:20120704

共 50 条

[1]

化学机械研磨设备及其研磨单元 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102528637A ,2012-07-04

[2]

化学机械研磨设备 [P].

胡继祥 .

中国专利 :CN209632750U ,2019-11-15

[3]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

沈毛振 ;

王润泽 .

中国专利 :CN223589099U ,2025-11-25

[4]

化学机械研磨设备以及化学机械研磨方法 [P].

夏金伟 ;

张中连 ;

龚小春 ;

陈滨 ;

姜北 .

中国专利 :CN102756328A ,2012-10-31

[5]

化学机械研磨设备及化学机械研磨方法 [P].

李福洪 .

中国专利 :CN101362313B ,2009-02-11

[6]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

[7]

化学机械研磨装置和化学机械研磨方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN104742007B ,2015-07-01

[8]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[9]

化学机械研磨设备及其防止化学机械研磨残留的方法 [P].

丁弋 ;

樊文斌 .

中国专利 :CN104128874A ,2014-11-05

[10]

用于化学机械研磨的研磨垫以及化学机械研磨设备 [P].

胡海天 ;

李志国 ;

程君 ;

陶仁峰 .

中国专利 :CN102744676A ,2012-10-24

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