化学机械研磨设备及其防止化学机械研磨残留的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410307530.0

申请日：

2014-06-30

公开(公告)号：

CN104128874A

公开(公告)日：

2014-11-05

发明(设计)人：

丁弋樊文斌

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

B24B37005

IPC分类号：

B24B3734

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

王宏婧

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755823846 IPC(主分类):B24B 37/005 专利申请号:2014103075300 申请公布日:20141105
2014-11-05	公开	公开
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101590933654 IPC(主分类):B24B 37/005 专利申请号:2014103075300 申请日:20140630

共 50 条

[1]

化学机械研磨设备及使用该化学机械研磨设备的研磨方法 [P].

江志琴 ;

李芳 .

中国专利 :CN102310358A ,2012-01-11

[2]

化学机械研磨设备以及化学机械研磨方法 [P].

夏金伟 ;

张中连 ;

龚小春 ;

陈滨 ;

姜北 .

中国专利 :CN102756328A ,2012-10-31

[3]

化学机械研磨方法以及化学机械研磨设备 [P].

翁杰 .

中国专利 :CN113084692B ,2021-07-09

[4]

化学机械研磨设备及化学机械研磨方法 [P].

李福洪 .

中国专利 :CN101362313B ,2009-02-11

[5]

化学机械研磨方法以及化学机械研磨装置 [P].

唐强 ;

魏红建 ;

肖德元 .

中国专利 :CN105437054B ,2016-03-30

[6]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

[7]

化学机械研磨设备 [P].

胡继祥 .

中国专利 :CN209632750U ,2019-11-15

[8]

化学机械研磨设备 [P].

洪波 .

中国专利 :CN210209950U ,2020-03-31

[9]

化学机械研磨设备 [P].

邓镭 .

中国专利 :CN103144040A ,2013-06-12

[10]

化学机械研磨设备 [P].

夏汇哲 .

中国专利 :CN111070076A ,2020-04-28

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