化学机械研磨装置及其研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610996724.5

申请日：

2016-11-11

公开(公告)号：

CN106514438A

公开(公告)日：

2017-03-22

发明(设计)人：

桂辉辉周小红万先进

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B3700

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 1/00 申请公布日:20170322
2017-03-22	公开	公开
2017-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101714009921 IPC(主分类):B24B 1/00 专利申请号:2016109967245 申请日:20161111

共 50 条

[1]

防刮伤化学机械研磨装置及其化学机械研磨方法 [P].

严钧华 ;

朱也方 ;

王从刚 .

中国专利 :CN105619239A ,2016-06-01

[2]

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

山本胜利 .

中国专利 :CN113001395A ,2021-06-22

[3]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

[4]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

张芳余 .

中国专利 :CN104742008B ,2015-07-01

[5]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN114762952A ,2022-07-19

[6]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

[7]

化学机械研磨方法以及化学机械研磨装置 [P].

唐强 ;

魏红建 ;

肖德元 .

中国专利 :CN105437054B ,2016-03-30

[8]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

寺田常徳 .

中国专利 :CN105009257A ,2015-10-28

[9]

化学机械研磨装置和化学机械研磨方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN104742007B ,2015-07-01

[10]

化学机械研磨方法和化学机械研磨装置 [P].

吉田英朗 .

中国专利 :CN1505110A ,2004-06-16

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