一种碳化硅晶圆加工方法

被引：0

申请号：

CN202211108349.8

申请日：

2022-09-13

公开(公告)号：

CN115472493A

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

严立巍朱亦峰刘文杰马晴

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园社区科苑路16号东方科技大厦1905

IPC主分类号：

H01L2104

IPC分类号：

H01L21683 C23C1640 C23C1644 C23C1656

代理机构：

北京和联顺知识产权代理有限公司 11621

代理人：

李麒麟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/04 申请日:20220913
2022-12-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶圆加工方法 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115472493B ,2025-12-19

[2]

一种碳化硅晶圆背面加工工艺 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115472550B ,2025-01-03

[3]

一种碳化硅晶圆背面加工工艺 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115472550A ,2022-12-13

[4]

一种碳化硅晶圆的裂片方法 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115458399B ,2025-01-03

[5]

一种碳化硅晶圆的裂片方法 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115458399A ,2022-12-09

[6]

碳化硅晶圆的加工方法 [P].

曹力力 ;

许云丁 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120015616A ,2025-05-16

[7]

碳化硅晶圆和碳化硅晶圆的氧化方法 [P].

林秀岩 ;

曹力力 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120322001A ,2025-07-15

[8]

一种晶圆级碳化硅器件制作方法及碳化硅器件 [P].

冯坤 ;

赵海军 ;

孙森 ;

葛正东 .

中国专利 :CN120280402A ,2025-07-08

[9]

超薄碳化硅晶圆转移工艺 [P].

严立巍 ;

文锺 ;

林春慧 ;

刘文杰 .

中国专利 :CN115376987A ,2022-11-22

[10]

一种碳化硅晶圆的加工方法 [P].

冯磊 ;

张峰 ;

陈浩 ;

顾凯峰 ;

吴城垦 ;

张羽丰 ;

寿浙琼 ;

柴晓程 .

中国专利 :CN119458135A ,2025-02-18

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