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杂散光测量装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110882670.0
申请日：
2021-08-02
公开(公告)号：
CN113701676B
公开(公告)日：
2021-11-26
发明(设计)人：
谈宜东
田明旺
徐欣
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园
IPC主分类号：
G01B1130
IPC分类号：
代理机构：
北京华进京联知识产权代理有限公司 11606
代理人：
马云超
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-26 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-25 | 授权 | 授权 |
| 2021-12-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/30 申请日:20210802 |