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杂散光测量装置及其测量方法、杂散光测量系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110474347.X
申请日：
2021-04-29
公开(公告)号：
CN115268219B
公开(公告)日：
2025-03-14
发明(设计)人：
牛钧杰
申请人：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
郑星
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-14 授权 授权
共 50 条
[1]
一种杂散光测量装置及测量方法 [P]. 
孙昊 ;
葛亮 .
中国专利 :CN106154761A ,2016-11-23
[2]
一种杂散光测量系统及其测量方法和装置 [P]. 
张康龙 ;
董小龙 .
中国专利 :CN114690566B ,2025-01-28
[3]
一种杂散光测量系统及其测量方法和装置 [P]. 
张康龙 ;
董小龙 .
中国专利 :CN114690566A ,2022-07-01
[4]
光波导侧壁杂散光测量装置及测量方法 [P]. 
程广壮 ;
金成滨 ;
魏如东 ;
朱春霖 ;
董立超 ;
吾晓 .
中国专利 :CN119803864A ,2025-04-11
[5]
一种杂散光测量装置和测量方法 [P]. 
于清华 ;
孙胜利 .
中国专利 :CN104865048A ,2015-08-26
[6]
杂散光测量装置及方法 [P]. 
谈宜东 ;
田明旺 ;
徐欣 .
中国专利 :CN113701676B ,2021-11-26
[7]
杂散光测量装置及方法 [P]. 
谈宜东 ;
田明旺 ;
徐欣 .
中国专利 :CN113701675B ,2021-11-26
[8]
内掩式日冕仪杂散光测量系统及测量方法 [P]. 
刘大洋 ;
孙明哲 ;
夏利东 ;
于晓雨 ;
唐宁 ;
刘维新 ;
韩建平 .
中国专利 :CN115452334A ,2022-12-09
[9]
一种杂散光测量装置 [P]. 
于清华 ;
孙胜利 .
中国专利 :CN204679245U ,2015-09-30
[10]
低杂散光快速光谱仪及其测量方法 [P]. 
潘建根 ;
李倩 .
中国专利 :CN101324468A ,2008-12-17
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