曝光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680022373.6

申请日：

2016-04-15

公开(公告)号：

CN107533956A

公开(公告)日：

2018-01-02

发明(设计)人：

柴崎祐一

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720 H01L21677

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

肖靖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20160415
2018-01-02	公开	公开
2021-10-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/027 申请公布日:20180102

共 50 条

[1]

曝光系统 [P].

崔凤珍 ;

金龙焕 .

中国专利 :CN103119519B ,2013-05-22

[2]

曝光系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108267828A ,2018-07-10

[3]

曝光系统 [P].

姜浩英 .

中国专利 :CN1204063A ,1999-01-06

[4]

曝光系统 [P].

王建勋 ;

张成宣 ;

程彦 ;

倪兴荣 ;

卢胜海 .

中国专利 :CN222800995U ,2025-04-25

[5]

曝光系统 [P].

朴庸硕 ;

赵汉范 .

中国专利 :CN1229694C ,2003-10-29

[6]

曝光系统 [P].

张迅 ;

易伟华 ;

郑芳平 ;

徐彬彬 ;

洪华俊 .

中国专利 :CN111103772A ,2020-05-05

[7]

曝光系统 [P].

黄登烟 ;

林佳蔚 .

中国专利 :CN101592868A ,2009-12-02

[8]

曝光系统、曝光系统的控制装置以及曝光系统的控制方法 [P].

大畑公孝 ;

木村忠信 ;

大河原直人 .

中国专利 :CN103999192A ,2014-08-20

[9]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[10]

曝光系统及曝光系统的降温方法 [P].

赵鹏 ;

陈超 ;

任轩达 .

中国专利 :CN113917804A ,2022-01-11

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