曝光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010040649.1

申请日：

2020-01-15

公开(公告)号：

CN111103772A

公开(公告)日：

2020-05-05

发明(设计)人：

张迅易伟华郑芳平徐彬彬洪华俊

申请人：

申请人地址：

338004 江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

熊文杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20200115
2020-05-05	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光系统 [P].

崔凤珍 ;

金龙焕 .

中国专利 :CN103119519B ,2013-05-22

[2]

曝光系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108267828A ,2018-07-10

[3]

曝光系统 [P].

姜浩英 .

中国专利 :CN1204063A ,1999-01-06

[4]

曝光系统 [P].

王建勋 ;

张成宣 ;

程彦 ;

倪兴荣 ;

卢胜海 .

中国专利 :CN222800995U ,2025-04-25

[5]

曝光系统 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN107533956A ,2018-01-02

[6]

曝光系统 [P].

朴庸硕 ;

赵汉范 .

中国专利 :CN1229694C ,2003-10-29

[7]

曝光系统 [P].

黄登烟 ;

林佳蔚 .

中国专利 :CN101592868A ,2009-12-02

[8]

曝光系统、曝光系统的控制装置以及曝光系统的控制方法 [P].

大畑公孝 ;

木村忠信 ;

大河原直人 .

中国专利 :CN103999192A ,2014-08-20

[9]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[10]

曝光系统及曝光系统的降温方法 [P].

赵鹏 ;

陈超 ;

任轩达 .

中国专利 :CN113917804A ,2022-01-11

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