搬送系统、搬送机器人及其教导方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680025760.5

申请日：

2016-04-30

公开(公告)号：

CN107924863A

公开(公告)日：

2018-04-17

发明(设计)人：

吉田浩之吉田雅也山口隆生陈栩权

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

张世俊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	授权	授权
2018-04-17	公开	公开
2018-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20160430

共 50 条

[1]

搬送系统及搬送机器人 [P].

大城笃志 ;

马目知徳 .

中国专利 :CN114901436A ,2022-08-12

[2]

基板搬送机器人及基板搬送方法 [P].

吉田雅也 ;

斎藤雅行 .

中国专利 :CN107408525A ,2017-11-28

[3]

搬送机器人 [P].

安田祐树 ;

小木智史 .

日本专利 :CN112008702B ,2024-06-04

[4]

搬送机器人 [P].

安田祐树 ;

小木智史 .

中国专利 :CN112008702A ,2020-12-01

[5]

衬底搬送机器人及衬底搬送装置 [P].

芝田武士 .

中国专利 :CN108698222B ,2018-10-23

[6]

物品保持具、搬送机器人、及物品搬送方法 [P].

山根秀士 ;

竹林润 ;

仓岡修平 ;

水本裕之 .

中国专利 :CN107708941B ,2018-02-16

[7]

基板搬送装置及基板搬送机器人的示教方法 [P].

吉田雅也 ;

冈田拓之 ;

福岛崇行 ;

后藤博彦 .

中国专利 :CN108780770B ,2018-11-09

[8]

物品搬送机器人 [P].

加藤伸一 ;

岩本秀人 ;

塚本直也 ;

I·E·兰多姆 ;

佐藤聪 .

中国专利 :CN111065565A ,2020-04-24

[9]

搬送用机器人 [P].

春日敬 .

中国专利 :CN304902714S ,2018-11-20

[10]

衬底搬送机器人及其运转方法 [P].

加藤烈 ;

仓田伊织 ;

斉藤雅行 ;

后藤博彦 .

中国专利 :CN106796907A ,2017-05-31

← 1 2 3 4 5 →