基板搬送机器人及基板搬送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680008582.5

申请日：

2016-02-01

公开(公告)号：

CN107408525A

公开(公告)日：

2017-11-28

发明(设计)人：

吉田雅也斎藤雅行

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B25J1308

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

杨林勋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20160201
2020-10-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20171128
2017-11-28	公开	公开

共 50 条

[1]

基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置 [P].

桥本康彦 ;

吉田哲也 .

中国专利 :CN109564888A ,2019-04-02

[2]

基板搬送装置及基板搬送机器人的示教方法 [P].

吉田雅也 ;

冈田拓之 ;

福岛崇行 ;

后藤博彦 .

中国专利 :CN108780770B ,2018-11-09

[3]

基板搬送手及机器人 [P].

芝田武士 .

中国专利 :CN108780771A ,2018-11-09

[4]

一种基板搬送机器人抓具以及基板搬送机器人 [P].

朱磊 .

中国专利 :CN211729189U ,2020-10-23

[5]

一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人 [P].

齐乐 ;

曹斌 ;

洪性坤 ;

沈超 .

中国专利 :CN203092546U ,2013-07-31

[6]

搬送系统及搬送机器人 [P].

大城笃志 ;

马目知徳 .

中国专利 :CN114901436A ,2022-08-12

[7]

基板搬送机器人及其控制方法 [P].

吉田雅也 ;

菅原润一 .

中国专利 :CN112005360A ,2020-11-27

[8]

一种基板搬送机器人 [P].

沈二峰 ;

王杰 ;

任青双 .

中国专利 :CN206536457U ,2017-10-03

[9]

一种基板搬送机器人 [P].

刘永亮 ;

张君 .

中国专利 :CN201881379U ,2011-06-29

[10]

衬底搬送机器人及衬底搬送装置 [P].

芝田武士 .

中国专利 :CN108698222B ,2018-10-23

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