一种基板搬送机器人

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020675808.7
申请日
2010-12-22
公开(公告)号
CN201881379U
公开(公告)日
2011-06-29
发明(设计)人
刘永亮 张君
申请人
申请人地址
100176 北京市经济技术开发区西环中路8号
IPC主分类号
B25J908
IPC分类号
B25J1500 G02F11333
代理机构
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人
申健
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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齐乐 ;
曹斌 ;
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[3]
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沈二峰 ;
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[4]
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斎藤雅行 .
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小木智史 .
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[6]
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安田祐树 ;
小木智史 .
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[9]
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[10]
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