一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220629149.2

申请日：

2012-11-23

公开(公告)号：

CN203092546U

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

齐乐曹斌洪性坤沈超

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

B25J900

IPC分类号：

B25J1506

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;黄灿

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B25J 9/00 申请日:20121123 授权公告日:20130731
2013-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基板搬送机器人抓具以及基板搬送机器人 [P].

朱磊 .

中国专利 :CN211729189U ,2020-10-23

[2]

机器人手臂和搬送机器人 [P].

中塚敦 .

中国专利 :CN107891427B ,2018-04-10

[3]

一种基板搬送机器人 [P].

刘永亮 ;

张君 .

中国专利 :CN201881379U ,2011-06-29

[4]

机器人手和搬送机器人 [P].

垂野真 ;

末吉智 ;

原田修 ;

筑本真二 .

中国专利 :CN203557383U ,2014-04-23

[5]

一种基板搬送机器人 [P].

沈二峰 ;

王杰 ;

任青双 .

中国专利 :CN206536457U ,2017-10-03

[6]

基板搬送机器人及基板搬送方法 [P].

吉田雅也 ;

斎藤雅行 .

中国专利 :CN107408525A ,2017-11-28

[7]

基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置 [P].

桥本康彦 ;

吉田哲也 .

中国专利 :CN109564888A ,2019-04-02

[8]

搬送机器人 [P].

安田祐树 ;

小木智史 .

中国专利 :CN112008702A ,2020-12-01

[9]

搬送机器人 [P].

安田祐树 ;

小木智史 .

日本专利 :CN112008702B ,2024-06-04

[10]

基板搬送机器人及其控制方法 [P].

吉田雅也 ;

菅原润一 .

中国专利 :CN112005360A ,2020-11-27

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