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基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780050257.X
申请日：
2017-09-08
公开(公告)号：
CN109564888A
公开(公告)日：
2019-04-02
发明(设计)人：
桥本康彦
吉田哲也
申请人：
申请人地址：
日本兵库县神户市
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
B65G4907
代理机构：
上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261
代理人：
曹芳玲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20170908 |