基板搬送机器人及基板搬送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680008582.5

申请日：

2016-02-01

公开(公告)号：

CN107408525A

公开(公告)日：

2017-11-28

发明(设计)人：

吉田雅也斎藤雅行

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B25J1308

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

杨林勋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20160201
2020-10-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20171128
2017-11-28	公开	公开

共 50 条

[21]

衬底搬送机器人及具备衬底搬送机器人的衬底处理装置 [P].

髙山祐一 ;

河原启之 ;

佐藤卓也 .

日本专利 :CN120072737A ,2025-05-30

[22]

搬送用机器人 [P].

春日敬 .

中国专利 :CN304902714S ,2018-11-20

[23]

基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置 [P].

西尾勤 .

中国专利 :CN102730416A ,2012-10-17

[24]

衬底搬送机器人及其运转方法 [P].

吉田雅也 ;

山口隆生 ;

田中佑治 ;

中原一 ;

阿比斯·阿修可·包瓦尼 ;

曾铭 ;

陈栩权 .

中国专利 :CN108604563B ,2018-09-28

[25]

机器人手和搬送机器人 [P].

垂野真 ;

末吉智 ;

原田修 ;

筑本真二 .

中国专利 :CN203557383U ,2014-04-23

[26]

衬底搬送机器人、衬底处理系统以及衬底搬送机器人的控制方法 [P].

谷口进一 ;

河原启之 .

日本专利 :CN120709207A ,2025-09-26

[27]

衬底搬送机器人及衬底检测方法 [P].

后藤博彦 .

中国专利 :CN107534009B ,2018-01-02

[28]

基板保持手及基板移送机器人 [P].

山田怜 ;

高氏龙之介 ;

清水一平 .

中国专利 :CN115039215A ,2022-09-09

[29]

基板保持手及基板移送机器人 [P].

山田怜 ;

高氏龙之介 ;

清水一平 .

日本专利 :CN115039215B ,2025-11-07

[30]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

日本专利 :CN113165169B ,2024-07-09

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