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基板搬送机器人及基板搬送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680008582.5
申请日：
2016-02-01
公开(公告)号：
CN107408525A
公开(公告)日：
2017-11-28
发明(设计)人：
吉田雅也
斎藤雅行
申请人：
申请人地址：
日本兵库县
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
B25J1308
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
杨林勋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20160201 |
| 2020-10-30 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20171128 |
| 2017-11-28 | 公开 | 公开 |