基板搬运机器人及基板搬运方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080006356.X

申请日：

2020-04-10

公开(公告)号：

CN113165169B

公开(公告)日：

2024-07-09

发明(设计)人：

吉田雅也阿维什·阿肖克·巴瓦尼曾铭布兰东·李里安·勒

申请人：

川崎重工业株式会社川崎机器人（美国）有限公司

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

B25J9/06

IPC分类号：

B25J9/10 B25J9/16 H01L21/677

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

姜越;金雪梅

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-09	授权	授权

共 50 条

[1]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

中国专利 :CN113165169A ,2021-07-23

[2]

基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法 [P].

木村吉希 ;

进大介 .

中国专利 :CN104176500A ,2014-12-03

[3]

基板搬运机器人及基板搬运机器人的控制方法 [P].

吉田浩之 ;

山田幸政 ;

北野真也 .

中国专利 :CN113727813A ,2021-11-30

[4]

基板搬运机器人及基板搬运机器人的控制方法 [P].

吉田浩之 ;

山田幸政 ;

北野真也 .

日本专利 :CN113727813B ,2024-06-11

[5]

基板搬运机器人系统及基板搬运机器人 [P].

桥崎知 ;

北野真也 ;

金丸亮介 ;

山下雄大 ;

长泽知也 .

日本专利 :CN119096345A ,2024-12-06

[6]

基板搬运机器人 [P].

小野良太 ;

芝田武士 .

日本专利 :CN120418947A ,2025-08-01

[7]

基板搬运机器人 [P].

吉田哲也 ;

曾铭 ;

中原一 .

中国专利 :CN112673462A ,2021-04-16

[8]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

中国专利 :CN114269666A ,2022-04-01

[9]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

长渕皓二 ;

垂野真 ;

实政泰树 ;

南孝 .

日本专利 :CN118990471A ,2024-11-22

[10]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

日本专利 :CN114269666B ,2024-02-06

← 1 2 3 4 5 →