基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410129367.3

申请日：

2014-04-01

公开(公告)号：

CN104176500A

公开(公告)日：

2014-12-03

发明(设计)人：

木村吉希进大介

申请人：

申请人地址：

日本福冈县

IPC主分类号：

B65G4906

IPC分类号：

B65G4790 B25J908 H01L21677

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华;陶健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-03	公开	公开
2014-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101593533148 IPC(主分类):B65G 49/06 专利申请号:2014101293673 申请日:20140401
2016-06-15	授权	授权

共 50 条

[1]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

中国专利 :CN114269666A ,2022-04-01

[2]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

长渕皓二 ;

垂野真 ;

实政泰树 ;

南孝 .

日本专利 :CN118990471A ,2024-11-22

[3]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

日本专利 :CN114269666B ,2024-02-06

[4]

基板搬运机器人及基板测试搬运系统 [P].

白国晓 ;

赵海生 ;

黄雄天 ;

魏广伟 .

中国专利 :CN202443210U ,2012-09-19

[5]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

日本专利 :CN113165169B ,2024-07-09

[6]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

中国专利 :CN113165169A ,2021-07-23

[7]

基板搬运机器人系统及基板搬运机器人 [P].

桥崎知 ;

北野真也 ;

金丸亮介 ;

山下雄大 ;

长泽知也 .

日本专利 :CN119096345A ,2024-12-06

[8]

基板搬运手和基板搬运机器人 [P].

古市昌稔 .

中国专利 :CN102205540A ,2011-10-05

[9]

基板搬运机器人和基板搬运方法 [P].

末吉智 ;

垂野真 .

中国专利 :CN103824791A ,2014-05-28

[10]

基板搬运机器人及基板搬运机器人的控制方法 [P].

吉田浩之 ;

山田幸政 ;

北野真也 .

中国专利 :CN113727813A ,2021-11-30

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