基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410586503.5

申请日：

2024-05-13

公开(公告)号：

CN118990471A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

长渕皓二垂野真实政泰树南孝

申请人：

株式会社安川电机

申请人地址：

日本福冈县

IPC主分类号：

B25J9/16

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/683 B25J11/00 B25J18/00 B65G47/91

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

徐丹;邓毅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

中国专利 :CN114269666A ,2022-04-01

[2]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

日本专利 :CN114269666B ,2024-02-06

[3]

基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法 [P].

木村吉希 ;

进大介 .

中国专利 :CN104176500A ,2014-12-03

[4]

基板搬运机器人及基板测试搬运系统 [P].

白国晓 ;

赵海生 ;

黄雄天 ;

魏广伟 .

中国专利 :CN202443210U ,2012-09-19

[5]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

日本专利 :CN113165169B ,2024-07-09

[6]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

中国专利 :CN113165169A ,2021-07-23

[7]

基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

藤森一夫 .

日本专利 :CN121175791A ,2025-12-19

[8]

基板搬运机器人系统及基板搬运机器人 [P].

桥崎知 ;

北野真也 ;

金丸亮介 ;

山下雄大 ;

长泽知也 .

日本专利 :CN119096345A ,2024-12-06

[9]

基板搬运用机器人系统以及基板搬运方法 [P].

芝田武士 ;

桥崎知 .

日本专利 :CN120322855A ,2025-07-15

[10]

搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置 [P].

后藤博彦 .

中国专利 :CN103250238A ,2013-08-14

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