基板搬运系统以及基板搬运方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480034274.4

申请日：

2024-05-29

公开(公告)号：

CN121175791A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

藤森一夫

申请人：

川崎重工业株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

B25J13/08 H01L21/68

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

卢英日

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

中国专利 :CN114269666A ,2022-04-01

[2]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

长渕皓二 ;

垂野真 ;

实政泰树 ;

南孝 .

日本专利 :CN118990471A ,2024-11-22

[3]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

日本专利 :CN114269666B ,2024-02-06

[4]

基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法 [P].

木村吉希 ;

进大介 .

中国专利 :CN104176500A ,2014-12-03

[5]

基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法 [P].

唐木征二 ;

近藤仁 ;

竹村大希 .

中国专利 :CN111547508B ,2020-08-18

[6]

基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法 [P].

小林康信 .

中国专利 :CN112018008A ,2020-12-01

[7]

搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置 [P].

后藤博彦 .

中国专利 :CN103250238A ,2013-08-14

[8]

基板搬运机器人及基板测试搬运系统 [P].

白国晓 ;

赵海生 ;

黄雄天 ;

魏广伟 .

中国专利 :CN202443210U ,2012-09-19

[9]

基板搬运用机器人系统以及基板搬运方法 [P].

芝田武士 ;

桥崎知 .

日本专利 :CN120322855A ,2025-07-15

[10]

基板搬运机器人和基板搬运方法 [P].

末吉智 ;

垂野真 .

中国专利 :CN103824791A ,2014-05-28

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