基板搬运手和基板搬运机器人

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110076710.9

申请日：

2011-03-29

公开(公告)号：

CN102205540A

公开(公告)日：

2011-10-05

发明(设计)人：

古市昌稔

申请人：

申请人地址：

日本福冈县

IPC主分类号：

B25J906

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

黄纶伟;杨娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-05	公开	公开
2013-03-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101418520218 IPC(主分类):B25J 9/06 专利申请号:2011100767109 申请日:20110329
2015-10-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101722805541 IPC(主分类):B25J 9/06 专利申请号:2011100767109 申请公布日:20111005

共 50 条

[1]

基板搬运机器人系统及基板搬运机器人 [P].

桥崎知 ;

北野真也 ;

金丸亮介 ;

山下雄大 ;

长泽知也 .

日本专利 :CN119096345A ,2024-12-06

[2]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

中国专利 :CN114269666A ,2022-04-01

[3]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

长渕皓二 ;

垂野真 ;

实政泰树 ;

南孝 .

日本专利 :CN118990471A ,2024-11-22

[4]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

日本专利 :CN114269666B ,2024-02-06

[5]

基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法 [P].

木村吉希 ;

进大介 .

中国专利 :CN104176500A ,2014-12-03

[6]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

日本专利 :CN113165169B ,2024-07-09

[7]

基板搬运机器人及基板搬运方法 [P].

吉田雅也 ;

阿维什·阿肖克·巴瓦尼 ;

曾铭 ;

布兰东·李 ;

里安·勒 .

中国专利 :CN113165169A ,2021-07-23

[8]

基板搬运机器人 [P].

小野良太 ;

芝田武士 .

日本专利 :CN120418947A ,2025-08-01

[9]

基板保持机械手和基板搬运机器人 [P].

清水一平 .

日本专利 :CN116018241B ,2025-10-28

[10]

基板搬运机器人 [P].

芝田武士 ;

小野良太 ;

松冈淳一 .

日本专利 :CN118715605A ,2024-09-27

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