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基板保持机械手和基板搬运机器人
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080103689.4
申请日：
2020-11-02
公开(公告)号：
CN116018241B
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
清水一平
申请人：
川崎重工业株式会社
申请人地址：
日本兵库县
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
B25J15/00
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
刘晓岑
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-28 | 授权 | 授权 |