一种微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310699410.5

申请日：

2013-12-18

公开(公告)号：

CN103668121A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

王宏兴

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16511

代理机构：

陕西增瑞律师事务所 61219

代理人：

张瑞琪

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	公开	公开
2017-08-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757535688 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2013106994105 登记生效日:20170802 变更事项:专利权人变更前权利人:王宏兴变更后权利人:西安德盟特半导体科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710049 陕西省西安市咸宁西路28号变更后权利人:710065 陕西省西安市高新区唐延南路十一号1幢1单元11403室
2015-11-25	授权	授权
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581684787 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2013106994105 申请日:20131218

共 50 条

[1]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203653692U ,2014-06-18

[2]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN103695867A ,2014-04-02

[3]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203653691U ,2014-06-18

[4]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

刘胜 ;

沈桥 ;

甘志银 .

中国专利 :CN110565160B ,2019-12-13

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522923U ,2019-10-22

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

涂溶 ;

徐伟清 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN105239057A ,2016-01-13

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

松山深照 .

中国专利 :CN1026133C ,1990-06-27

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

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