一种微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810566023.7

申请日：

2018-06-05

公开(公告)号：

CN110565160B

公开(公告)日：

2019-12-13

发明(设计)人：

刘胜沈桥甘志银

申请人：

申请人地址：

528251 广东省佛山市南海区平洲南港大街5号1楼

IPC主分类号：

C30B2508

IPC分类号：

C30B2514 C30B2904 C23C1627 C23C1644 C23C16517 C23C16511 C23C16513 C23C16455

代理机构：

北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210

代理人：

田磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	授权	授权
2021-11-05	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C30B 25/08 变更事项:申请人变更前:广东昭信半导体装备制造有限公司变更后:广东众元半导体科技有限公司变更事项:地址变更前:528251 广东省佛山市南海区平洲南港大街5号1楼变更后:528251 广东省佛山市南海区平洲南港大街5号1楼
2019-12-13	公开	公开
2020-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/08 申请日:20180605

共 50 条

[1]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203653692U ,2014-06-18

[2]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN103695867A ,2014-04-02

[3]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN103628048A ,2014-03-12

[4]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN103668121A ,2014-03-26

[5]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203602711U ,2014-05-21

[6]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203653691U ,2014-06-18

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522923U ,2019-10-22

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

涂溶 ;

徐伟清 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN105239057A ,2016-01-13

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

松山深照 .

中国专利 :CN1026133C ,1990-06-27

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