纳米孪晶铜再布线的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410581802.6

申请日：

2014-10-27

公开(公告)号：

CN104392939A

公开(公告)日：

2015-03-04

发明(设计)人：

李珩罗乐朱春生叶交托徐高卫

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L2160

IPC分类号：

H01L23485

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101603708935 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2014105818026 申请日:20141027
2017-09-01	授权	授权
2015-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米孪晶铜布线层的制备方法 [P].

程功 ;

李珩 ;

罗乐 ;

徐高卫 .

中国专利 :CN106876294A ,2017-06-20

[2]

纳米孪晶铜再布线方法、装置、设备及存储介质及产品 [P].

刘志权 ;

王泽淞 ;

钟诚 .

中国专利 :CN118013931A ,2024-05-10

[3]

纳米孪晶铜部件 [P].

李愷淳 ;

周恒正 ;

J·A·尤尔科 ;

郭伟民 ;

Z·D·范伯格 ;

D·C·韦格曼 ;

E·S·约尔 ;

H·伊斯梅尔丽 .

中国专利 :CN112941586A ,2021-06-11

[4]

一种纳米孪晶铜电镀液、电镀方法以及纳米孪晶铜 [P].

高丽茵 ;

刘瑾昊 ;

刘志权 ;

景宇豪 .

中国专利 :CN121023598A ,2025-11-28

[5]

采用高频脉冲制备纳米孪晶铜层的方法 [P].

张新平 ;

詹晓非 .

中国专利 :CN110592621A ,2019-12-20

[6]

纳米孪晶铜结构的电沉积 [P].

斯蒂芬·J·巴尼克二世 ;

布莱恩·L·巴卡柳 ;

贾斯廷·奥伯斯特 ;

布万·杜阿 ;

阿妮卡·尼科尔·诺伊曼 ;

托马斯·安纳德·庞努斯瓦米 .

中国专利 :CN113260739A ,2021-08-13

[7]

纳米孪晶铜片的制备方法、纳米孪晶铜片、蒸发器和冰箱 [P].

张强 .

中国专利 :CN104894497A ,2015-09-09

[8]

一种纳米孪晶铜贴片天线及其制备方法 [P].

梅青松 ;

彭宇琦 ;

陈子豪 ;

廖凌祎 ;

谭媛媛 ;

柏鹭飞 ;

罗旭 .

中国专利 :CN119627404B ,2025-11-21

[9]

一种纳米孪晶铜贴片天线及其制备方法 [P].

梅青松 ;

彭宇琦 ;

陈子豪 ;

廖凌祎 ;

谭媛媛 ;

柏鹭飞 ;

罗旭 .

中国专利 :CN119627404A ,2025-03-14

[10]

用于纳米孪晶铜形成的组合物和方法 [P].

斯特凡·I·布雷 ;

叶萍萍 ;

韩建文 ;

凯尔·M·惠滕 ;

托马斯·B·理查德森 .

美国专利 :CN120051593A ,2025-05-27

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