一种用于电解沉积铜的组合物及酸铜电镀液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911364343.5

申请日：

2019-12-26

公开(公告)号：

CN110938848B

公开(公告)日：

2020-03-31

发明(设计)人：

周家珠刘安张兵向文胜赵建龙朱坤陆兰

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号

IPC主分类号：

C25D338

IPC分类号：

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C25D 3/38 申请日:20191226
2021-05-11	授权	授权
2020-03-31	公开	公开

共 50 条

[1]

用于电解沉积铜涂层的水性酸性铜电镀浴及方法 [P].

P.瓦赫特 ;

S.克雷奇默 .

中国专利 :CN110741109B ,2020-01-31

[2]

用于电解沉积铜的水性酸浴及方法 [P].

H·布伦纳 ;

B·罗尔福斯 ;

D·罗德 ;

T·普利特 .

中国专利 :CN101960054B ,2011-01-26

[3]

用于铜的电解沉积的水性酸浴 [P].

N·丹布罗斯基 ;

U·豪夫 ;

I·埃韦特 ;

C·丹布劳斯基 ;

R·文策尔 .

中国专利 :CN103547711B ,2014-01-29

[4]

用于铜集成电路内连线的铜电镀液组合物 [P].

吕志昇 ;

罗律铭 ;

谢耀南 ;

何瑞莊 .

中国专利 :CN1410601A ,2003-04-16

[5]

用于电解沉积铜沉积物的酸性水性组合物 [P].

R·施密特 ;

J·加伊达 ;

W·罗兰 ;

J·帕尔姆 ;

H·杰哈 .

中国专利 :CN115427613A ,2022-12-02

[6]

用于无电铜沉积的电镀液 [P].

耶兹迪·多尔迪 ;

威廉·蒂 ;

阿尔及尔达斯·瓦斯凯利斯 ;

尤金尼厄斯·诺尔库斯 ;

简·翟希欧斯科因 .

中国专利 :CN101484951A ,2009-07-15

[7]

用于电沉积铜层的无氰电解液组合物 [P].

斯蒂芬·沙菲尔 .

中国专利 :CN102159752B ,2011-08-17

[8]

用于电解沉积锻纹镍沉积物的酸电镀浴及方法 [P].

沃尔夫冈·达姆斯 ;

克劳斯－迪特尔·舒尔茨 ;

托马斯·莫里茨 .

中国专利 :CN1656255A ,2005-08-17

[9]

可溶性铜阳极、电解铜电镀装置、电解铜电镀方法及酸性电解铜电镀液的保存方法 [P].

清田優 ;

重松利幸 .

中国专利 :CN109154100A ,2019-01-04

[10]

一种铜互连电镀液及铜互连电镀方法 [P].

刘志权 ;

李哲 ;

彭振家 ;

刘兴权 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114775001A ,2022-07-22

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