液体处理装置和液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580011353.0

申请日：

2005-03-30

公开(公告)号：

CN1942606A

公开(公告)日：

2007-04-04

发明(设计)人：

鹤崎广太郎田中裕司户岛孝之江岛和善

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

肖春京;谭祐祥

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-14	授权	授权
2007-04-04	公开	公开
2007-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

吉原孝介 ;

一野克宪 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 ;

土屋胜裕 ;

寺下裕一 ;

竹口博史 .

中国专利 :CN104137225A ,2014-11-05

[2]

液体处理方法和液体处理装置 [P].

八寻俊一 ;

立山清久 ;

元田公男 .

中国专利 :CN100549838C ,2007-02-21

[3]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

天野嘉文 ;

金子聪 .

中国专利 :CN101802982A ,2010-08-11

[4]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

吉原孝介 ;

一野克宪 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 ;

土屋胜裕 ;

寺下裕一 ;

竹口博史 .

中国专利 :CN105413247A ,2016-03-23

[5]

液体处理方法和液体处理装置 [P].

桥本崇史 ;

畠山真一 ;

柴田直树 .

中国专利 :CN105810558B ,2016-07-27

[6]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

上川裕二 ;

杢尾胜利 .

中国专利 :CN1450608A ,2003-10-22

[7]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101989538A ,2011-03-23

[8]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

佐田彻也 ;

宫崎一仁 .

中国专利 :CN100402163C ,2003-04-02

[9]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

山内拓史 .

中国专利 :CN113441195A ,2021-09-28

[10]

液体处理方法和液体处理装置 [P].

藤田浩史 ;

桥本泰宏 ;

猪野大辅 .

中国专利 :CN107804938B ,2018-03-16

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