液体处理装置和液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010243590.2

申请日：

2010-07-30

公开(公告)号：

CN101989538A

公开(公告)日：

2011-03-23

发明(设计)人：

伊藤规宏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101212509724 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010102435902 申请日:20100730
2011-03-23	公开	公开
2014-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

松本和久 .

中国专利 :CN101989537A ,2011-03-23

[2]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

鹤崎广太郎 ;

田中裕司 ;

户岛孝之 ;

江岛和善 .

中国专利 :CN1942606A ,2007-04-04

[3]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

吉原孝介 ;

一野克宪 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 ;

土屋胜裕 ;

寺下裕一 ;

竹口博史 .

中国专利 :CN104137225A ,2014-11-05

[4]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

上川裕二 ;

杢尾胜利 .

中国专利 :CN1450608A ,2003-10-22

[5]

液体处理方法和液体处理装置 [P].

八寻俊一 ;

立山清久 ;

元田公男 .

中国专利 :CN100549838C ,2007-02-21

[6]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

佐田彻也 ;

宫崎一仁 .

中国专利 :CN100402163C ,2003-04-02

[7]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

山内拓史 .

中国专利 :CN113441195A ,2021-09-28

[8]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

天野嘉文 ;

金子聪 .

中国专利 :CN101802982A ,2010-08-11

[9]

液体处理装置和液体处理方法 [P].

吉原孝介 ;

一野克宪 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 ;

土屋胜裕 ;

寺下裕一 ;

竹口博史 .

中国专利 :CN105413247A ,2016-03-23

[10]

液体处理方法和液体处理装置 [P].

藤田浩史 ;

桥本泰宏 ;

猪野大辅 .

中国专利 :CN107804938B ,2018-03-16

← 1 2 3 4 5 →