校准装置控制装置以及校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980130073.X

申请日：

2009-10-28

公开(公告)号：

CN102113088A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

津村阳一郎稻叶贵则

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2160 B81C300

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

胡金珑

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096118118 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:200980130073X 申请日:20091028
2011-06-29	公开	公开
2016-12-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101692413575 IPC(主分类):H01L 21/02 专利号:ZL200980130073X 申请日:20091028 授权公告日:20130327 终止日期:20151028
2013-03-27	授权	授权

共 50 条

[1]

校准装置、校准方法和控制装置 [P].

南本高志 ;

白土浩司 .

中国专利 :CN111278613B ,2020-06-12

[2]

校准装置、校准方法以及校准图表装置 [P].

小柳津秀纪 .

中国专利 :CN111567031B ,2020-08-21

[3]

校准装置以及校准方法 [P].

三谷佳一 ;

田岛和幸 ;

山崎和良 .

中国专利 :CN114615441A ,2022-06-10

[4]

校准装置以及校准方法 [P].

冈室琢磨 ;

奥村资纪 ;

太田睦彦 ;

后藤和敏 ;

柳泽功 ;

稻冈靖雄 .

中国专利 :CN100557479C ,2008-03-19

[5]

校准装置以及校准方法 [P].

V·J·库卢维拉 ;

常田晴弘 .

中国专利 :CN111319034A ,2020-06-23

[6]

校准装置以及校准方法 [P].

三谷佳一 ;

田岛和幸 ;

山崎和良 .

日本专利 :CN114615441B ,2024-07-12

[7]

校准装置、校准方法以及校准程序 [P].

金野翔太 ;

片山贵登 .

中国专利 :CN115597650A ,2023-01-13

[8]

校准装置、校准方法以及校准程序存储介质 [P].

坂野盛彦 ;

佐藤启二 .

中国专利 :CN108141570B ,2018-06-08

[9]

机器人控制装置以及校准方法 [P].

樱本泰宪 .

中国专利 :CN110114191B ,2019-08-09

[10]

氚校准装置以及氚校准方法 [P].

陈志林 ;

杨阳 ;

陈平 ;

赖财锋 ;

李余 ;

程胜寒 ;

姜文翔 ;

彭述明 .

中国专利 :CN117970425A ,2024-05-03

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