三氯氢硅合成设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120308145.X
申请日
2011-08-23
公开(公告)号
CN202246098U
公开(公告)日
2012-05-30
发明(设计)人
齐林喜 刘犀灵 王晓亮
申请人
申请人地址
015543 中国内蒙古巴彦淖尔市乌拉特后旗青山工业园区
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
代易宁;谭祐祥
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
三氯氢硅合成工艺及系统 [P]. 
齐林喜 ;
赵亮 .
中国专利 :CN106032275A ,2016-10-19
[2]
三氯氢硅合成系统 [P]. 
王敏强 ;
陈保平 ;
赵剑 ;
张丽烽 .
中国专利 :CN216918635U ,2022-07-08
[3]
三氯氢硅合成工艺和设备 [P]. 
齐林喜 ;
刘犀灵 ;
王晓亮 .
中国专利 :CN102390836B ,2012-03-28
[4]
一种三氯氢硅合成的方法 [P]. 
杨海建 ;
张扬 ;
马麟 ;
李占青 ;
刘玉芹 .
中国专利 :CN101665254A ,2010-03-10
[5]
三氯氢硅生产系统 [P]. 
陈琳 ;
齐林喜 ;
刘占卿 .
中国专利 :CN201981013U ,2011-09-21
[6]
新型三氯氢硅合成炉 [P]. 
罗永来 .
中国专利 :CN201258255Y ,2009-06-17
[7]
合成三氯氢硅的系统 [P]. 
司文学 ;
杨永亮 ;
张升学 ;
郑红梅 ;
陈贵娥 ;
严大洲 .
中国专利 :CN223102753U ,2025-07-15
[8]
三氯氢硅合成尾气回收利用系统 [P]. 
王敏强 ;
陈保平 ;
赵剑 ;
张丽烽 .
中国专利 :CN216997671U ,2022-07-19
[9]
三氯氢硅合成炉 [P]. 
梁进 .
中国专利 :CN201620027U ,2010-11-03
[10]
三氯氢硅合成炉 [P]. 
鲍明锐 ;
蔡俊雄 ;
郭庆元 ;
刘毅 ;
王兰华 .
中国专利 :CN106006647A ,2016-10-12