三氯氢硅合成炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610326284.2

申请日：

2016-05-17

公开(公告)号：

CN106006647A

公开(公告)日：

2016-10-12

发明(设计)人：

鲍明锐蔡俊雄郭庆元刘毅王兰华

申请人：

申请人地址：

256600 山东省滨州市沾化县经济开发区恒业五路166号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

陈书华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	公开	公开
2016-12-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101694583715 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:2016103262842 申请日:20160517
2018-03-13	授权	授权
2021-04-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20160517 授权公告日:20180313 终止日期:20200517

共 50 条

[1]

三氯氢硅合成炉 [P].

张蕤 .

中国专利 :CN217148583U ,2022-08-09

[2]

一种三氯氢硅合成炉 [P].

罗周 ;

刘汉元 ;

李斌 ;

甘居富 .

中国专利 :CN203922739U ,2014-11-05

[3]

新型三氯氢硅合成炉 [P].

罗永来 .

中国专利 :CN201258255Y ,2009-06-17

[4]

三氯氢硅合成炉 [P].

梁进 .

中国专利 :CN201620027U ,2010-11-03

[5]

三氯氢硅合成炉 [P].

赵文学 .

中国专利 :CN202988749U ,2013-06-12

[6]

一种三氯氢硅合成炉 [P].

李法曾 ;

杨秀玲 ;

苗乃芬 ;

李法山 ;

王建民 .

中国专利 :CN201648006U ,2010-11-24

[7]

三氯氢硅合成炉供气结构 [P].

王国林 .

中国专利 :CN201626836U ,2010-11-10

[8]

三氯氢硅合成炉供气结构 [P].

王国林 .

中国专利 :CN101798087A ,2010-08-11

[9]

一种三氯氢硅合成炉 [P].

董立强 .

中国专利 :CN204714532U ,2015-10-21

[10]

合成炉喷嘴和三氯氢硅合成炉 [P].

张成兵 ;

赵永禄 ;

王世刚 ;

黄胜兵 ;

王志军 .

中国专利 :CN207659104U ,2018-07-27

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