一种三氯氢硅合成炉

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420324903.0
申请日
2014-06-18
公开(公告)号
CN203922739U
公开(公告)日
2014-11-05
发明(设计)人
罗周 刘汉元 李斌 甘居富
申请人
申请人地址
614899 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211
代理人
冉鹏程
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
三氯氢硅合成炉 [P]. 
鲍明锐 ;
蔡俊雄 ;
郭庆元 ;
刘毅 ;
王兰华 .
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一种三氯氢硅合成炉 [P]. 
董立强 .
中国专利 :CN204714532U ,2015-10-21
[3]
三氯氢硅合成炉 [P]. 
张蕤 .
中国专利 :CN217148583U ,2022-08-09
[4]
一种三氯氢硅合成炉 [P]. 
李法曾 ;
杨秀玲 ;
苗乃芬 ;
李法山 ;
王建民 .
中国专利 :CN201648006U ,2010-11-24
[5]
新型三氯氢硅合成炉 [P]. 
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[6]
一种改进的三氯氢硅合成炉 [P]. 
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[7]
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[8]
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[10]
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