共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统
被引：0
申请号：
CN202210682665.X
申请日：
2022-06-16
公开(公告)号：
CN115077417A
公开(公告)日：
2022-09-20
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
201316 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区海基六路70弄1号512-57室
IPC主分类号：
G01B1124
IPC分类号：
代理机构：
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人：
郑纯;黎飞鸿
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 公开 | 公开 |