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一种全场式色散干涉测量系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411268779.5
申请日：
2024-09-11
公开(公告)号：
CN118960568A
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
吴冠豪 张金旭
申请人：
清华大学
申请人地址：
100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
IPC主分类号：
G01B11/00
IPC分类号：
代理机构：
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人：
刘美丽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-12-03 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/00申请日:20240911
2024-11-15 公开 公开
共 50 条
[1]
一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统 [P]. 
谢芳 ;
王韵致 ;
马森 ;
赵可强 ;
董连连 .
中国专利 :CN105333816A ,2016-02-17
[2]
一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN115077417B ,2025-04-08
[3]
一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN115077417A ,2022-09-20
[4]
一种干涉测量系统 [P]. 
姜美丽 ;
张立喆 .
中国专利 :CN223691790U ,2025-12-19
[5]
干涉测量方法、干涉测量装置以及干涉测量系统 [P]. 
路伟涛 ;
任天鹏 ;
陈略 .
中国专利 :CN115308681A ,2022-11-08
[6]
干涉测量方法、干涉测量装置以及干涉测量系统 [P]. 
路伟涛 ;
任天鹏 ;
陈略 .
中国专利 :CN115308681B ,2025-04-11
[7]
一种干涉解调装置及干涉测量系统 [P]. 
姜美丽 ;
张立喆 .
中国专利 :CN120947704A ,2025-11-14
[8]
一种线场色散干涉椭偏测量系统及测量方法 [P]. 
吴冠豪 ;
张金旭 .
中国专利 :CN118408891A ,2024-07-30
[9]
干涉测量系统以及干涉测量方法 [P]. 
符建 ;
刘旭 ;
匡翠方 ;
丁志华 .
中国专利 :CN120489354A ,2025-08-15
[10]
干涉测量方法和干涉测量系统 [P]. 
B·多班德 .
德国专利 :CN117685872A ,2024-03-12
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