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扩散炉管设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201820600744.0
申请日
:
2018-04-25
公开(公告)号
:
CN208189529U
公开(公告)日
:
2018-12-04
发明(设计)人
:
不公告发明人
申请人
:
申请人地址
:
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号
:
H01L2122
IPC分类号
:
B01D4900
代理机构
:
北京市铸成律师事务所 11313
代理人
:
张臻贤;武晨燕
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-12-04
授权
授权
共 50 条
[1]
扩散炉管设备及处理废气的方法
[P].
不公告发明人
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0
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0
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0
不公告发明人
.
中国专利
:CN108389788A
,2018-08-10
[2]
扩散炉管
[P].
张朝坤
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0
张朝坤
.
中国专利
:CN203192776U
,2013-09-11
[3]
扩散炉管及扩散炉
[P].
王诗涛
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王诗涛
.
中国专利
:CN209052804U
,2019-07-02
[4]
扩散炉管及扩散炉
[P].
黄建育
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机构:
成都紫光半导体科技有限公司
成都紫光半导体科技有限公司
黄建育
.
中国专利
:CN221254782U
,2024-07-02
[5]
一种新型扩散炉管
[P].
郭城
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郭城
;
吕明
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吕明
;
王永超
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王永超
;
郭英云
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郭英云
.
中国专利
:CN208271835U
,2018-12-21
[6]
扩散炉管道清洗设备
[P].
燕超
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燕超
;
徐嘉
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徐嘉
.
中国专利
:CN215587375U
,2022-01-21
[7]
一种扩散炉管道清洗设备
[P].
秦有贵
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秦有贵
;
辛奇
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辛奇
;
胡凯
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胡凯
;
徐峰
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徐峰
;
杨军
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杨军
;
闫乐成
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闫乐成
;
秦宝宏
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秦宝宏
.
中国专利
:CN217877175U
,2022-11-22
[8]
硅片扩散炉管装置及电池制造设备
[P].
王锦乐
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王锦乐
;
徐冠群
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徐冠群
;
张玉前
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张玉前
.
中国专利
:CN217468346U
,2022-09-20
[9]
扩散炉管及扩散炉
[P].
王诗涛
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王诗涛
.
中国专利
:CN109112636A
,2019-01-01
[10]
一种扩散炉管
[P].
郭城
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郭城
;
吕明
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吕明
;
纪大鹏
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纪大鹏
;
赵海玲
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赵海玲
;
徐明星
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徐明星
;
郭英云
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郭英云
.
中国专利
:CN203530504U
,2014-04-09
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