一种ALD加工设备以及加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011412184.4

申请日：

2020-12-03

公开(公告)号：

CN112481604A

公开(公告)日：

2021-03-12

发明(设计)人：

万军廖海涛王斌王辉

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号（超骏大厦）第4层819室

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1654 C23C1652 B82Y3000 B82Y4000

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

刘杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	公开	公开
2021-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20201203
2022-03-18	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20220304 变更事项:申请人变更前权利人:无锡市邑晶半导体科技有限公司变更后权利人:无锡邑文电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号（超骏大厦）第4层819室变更后权利人:214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号

共 50 条

[1]

一种ALD加工设备以及加工方法 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN112921301A ,2021-06-08

[2]

一种ALD加工设备以及加工方法 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN112899657A ,2021-06-04

[3]

一种ALD加工设备以及加工方法 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN112853322A ,2021-05-28

[4]

一种ALD加工设备以及加工方法 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN112853321A ,2021-05-28

[5]

一种ALD加工设备以及加工方法 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN112899658A ,2021-06-04

[6]

一种ALD加工设备以及加工方法 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN112853320A ,2021-05-28

[7]

一种ALD加工设备 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN214400713U ,2021-10-15

[8]

一种ALD加工设备 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN214400710U ,2021-10-15

[9]

一种ALD加工设备 [P].

万军 ;

廖海涛 ;

王斌 ;

王辉 .

中国专利 :CN214937792U ,2021-11-30

[10]

一种ALD加工设备 [P].

万军 ;

王辉 ;

廖海涛 ;

王斌 .

中国专利 :CN214400709U ,2021-10-15

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