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一种ALD加工设备以及加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110075328.X
申请日：
2021-01-20
公开(公告)号：
CN112853320A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
万军
王辉
廖海涛
王斌
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号（超骏大厦）第4层819室
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人：
安磊
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20220304 变更事项:申请人 变更前权利人:无锡市邑晶半导体科技有限公司 变更后权利人:无锡邑文电子科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号（超骏大厦）第4层819室 变更后权利人:214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号 |
| 2022-11-08 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 16/455 申请公布日:20210528 |
| 2021-05-28 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20210120 |