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静电吸盘及静电吸盘的制造方法

被引：0
申请号：
CN202210498726.7
申请日：
2022-05-09
公开(公告)号：
CN115346906A
公开(公告)日：
2022-11-15
发明(设计)人：
冈本直巳 高桥龙二
申请人：
申请人地址：
日本长野县
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
龙涛峰;顾红霞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-15 公开 公开
共 50 条
[1]
静电吸盘及静电吸盘的制造方法 [P]. 
石川佳津子 ;
米澤顺治 ;
青岛利裕 .
中国专利 :CN103053018A ,2013-04-17
[2]
静电吸盘的制造方法及静电吸盘 [P]. 
金淳勋 ;
李知善 ;
张泰范 ;
崔恩祯 .
中国专利 :CN109768008A ,2019-05-17
[3]
静电吸盘组件和静电吸盘制造方法 [P]. 
乔俊熙 ;
黄永珠 ;
郑宰旭 .
美国专利 :CN112640081B ,2024-10-15
[4]
静电吸盘组件和静电吸盘制造方法 [P]. 
乔俊熙 ;
黄永珠 ;
郑宰旭 .
中国专利 :CN112640081A ,2021-04-09
[5]
陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法 [P]. 
峰村知刚 .
日本专利 :CN113248288B ,2024-05-17
[6]
陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法 [P]. 
峰村知刚 .
中国专利 :CN113248288A ,2021-08-13
[7]
静电吸盘制造方法 [P]. 
朴胤辉 ;
王溍烈 ;
崔容硕 ;
鱼智浩 ;
柳承玟 ;
金度延 ;
郑允皓 .
韩国专利 :CN119626971A ,2025-03-14
[8]
静电吸盘的制造方法 [P]. 
有働竜二郎 ;
荒井雅嗣 ;
角谷匡规 .
中国专利 :CN100345274C ,2004-09-01
[9]
制造静电吸盘的方法 [P]. 
安格斯·麦克法登 ;
杰森·瑞特 .
中国专利 :CN113647009A ,2021-11-12
[10]
制造静电吸盘的方法 [P]. 
安格斯·麦克法登 ;
杰森·瑞特 .
美国专利 :CN113647009B ,2024-06-28
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