静电吸盘组件和静电吸盘制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980055932.7

申请日：

2019-08-22

公开(公告)号：

CN112640081B

公开(公告)日：

2024-10-15

发明(设计)人：

乔俊熙黄永珠郑宰旭

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H02N13/00 B23Q3/15 H10K71/00

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

静电吸盘组件和静电吸盘制造方法 [P].

乔俊熙 ;

黄永珠 ;

郑宰旭 .

中国专利 :CN112640081A ,2021-04-09

[2]

基板固定装置、静电吸盘和静电吸盘的制造方法 [P].

竹元启一 ;

原山洋一 ;

浅川浩行 ;

六川贵博 .

中国专利 :CN114496886A ,2022-05-13

[3]

静电吸盘、基板固定装置和静电吸盘的制造方法 [P].

小林健太郎 ;

渡边瑞贵 ;

山口晃平 ;

佐藤淳夫 .

中国专利 :CN115692296A ,2023-02-03

[4]

静电吸盘及静电吸盘的制造方法 [P].

石川佳津子 ;

米澤顺治 ;

青岛利裕 .

中国专利 :CN103053018A ,2013-04-17

[5]

静电吸盘及静电吸盘的制造方法 [P].

冈本直巳 ;

高桥龙二 .

中国专利 :CN115346906A ,2022-11-15

[6]

静电吸盘的制造方法及静电吸盘 [P].

金淳勋 ;

李知善 ;

张泰范 ;

崔恩祯 .

中国专利 :CN109768008A ,2019-05-17

[7]

沉积环和静电吸盘 [P].

方文勇 ;

刘兆虎 ;

曾海 ;

李江风 .

中国专利 :CN201732778U ,2011-02-02

[8]

静电吸盘制造方法 [P].

朴胤辉 ;

王溍烈 ;

崔容硕 ;

鱼智浩 ;

柳承玟 ;

金度延 ;

郑允皓 .

韩国专利 :CN119626971A ,2025-03-14

[9]

静电吸盘组件 [P].

史蒂文·V·桑森尼 ;

蔡振雄 ;

夏姆胡·N·罗伊 ;

卡尔·M·布朗 ;

维杰·D·帕克 ;

哈里·K·庞内坎蒂 .

中国专利 :CN102160167B ,2011-08-17

[10]

静电吸盘组件 [P].

许亮 .

中国专利 :CN201966195U ,2011-09-07

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