静电吸盘组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980136614.X

申请日：

2009-08-06

公开(公告)号：

CN102160167B

公开(公告)日：

2011-08-17

发明(设计)人：

史蒂文·V·桑森尼蔡振雄夏姆胡·N·罗伊卡尔·M·布朗维杰·D·帕克哈里·K·庞内坎蒂

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

B23Q315 H02N1300 H01L2168

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;钟强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	授权	授权
2011-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101113335347 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:200980136614X 申请日:20090806
2011-08-17	公开	公开
2012-01-18	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101266721182 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:200980136614X 变更事项:申请人变更前:应用材料股份有限公司变更后:应用材料公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州

共 50 条

[1]

静电吸盘组件和冷却系统 [P].

建野范昭 ;

宫地淳 ;

佐护康实 ;

池田真义 ;

金子一秋 ;

高村富夫 ;

平山唯志 ;

池村芳之 ;

田丸正彦 .

中国专利 :CN1299345C ,2005-03-23

[2]

静电吸盘组件 [P].

许亮 .

中国专利 :CN201966195U ,2011-09-07

[3]

静电吸盘组件和静电吸盘制造方法 [P].

乔俊熙 ;

黄永珠 ;

郑宰旭 .

美国专利 :CN112640081B ,2024-10-15

[4]

静电吸盘组件和静电吸盘制造方法 [P].

乔俊熙 ;

黄永珠 ;

郑宰旭 .

中国专利 :CN112640081A ,2021-04-09

[5]

静电吸盘 [P].

辰己良昭 ;

藤泽博 .

中国专利 :CN102160165B ,2011-08-17

[6]

静电吸盘及静电吸盘的制造方法 [P].

冈本直巳 ;

高桥龙二 .

中国专利 :CN115346906A ,2022-11-15

[7]

一种接合体和静电吸盘 [P].

朱宁 .

中国专利 :CN119252789A ,2025-01-03

[8]

静电吸盘装置 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115552589A ,2022-12-30

[9]

静电吸盘装置 [P].

稻妻地浩 ;

小坂井守 ;

三浦幸夫 ;

牧惠吾 .

中国专利 :CN101501834B ,2009-08-05

[10]

静电吸盘以及静电吸盘用的电极片 [P].

宫下欣也 ;

藤泽博 ;

原野理一郎 .

中国专利 :CN101218668A ,2008-07-09

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