静电吸盘组件和冷却系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02824097.9

申请日：

2002-12-03

公开(公告)号：

CN1299345C

公开(公告)日：

2005-03-23

发明(设计)人：

建野范昭宫地淳佐护康实池田真义金子一秋高村富夫平山唯志池村芳之田丸正彦

申请人：

申请人地址：

日本福冈县北九州市

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

B22F324 B22F317 B21J500

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨生平;张志醒

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种冷却系统以及静电吸盘 [P].

孙峰 ;

王路 ;

魏子程 ;

卢祥荣 ;

王钰沣 ;

李洋 ;

高友帅 ;

黄硕 ;

李兴利 .

中国专利 :CN120709218A ,2025-09-26

[2]

静电吸盘组件 [P].

史蒂文·V·桑森尼 ;

蔡振雄 ;

夏姆胡·N·罗伊 ;

卡尔·M·布朗 ;

维杰·D·帕克 ;

哈里·K·庞内坎蒂 .

中国专利 :CN102160167B ,2011-08-17

[3]

冷却系统，冷却板和具有冷却系统的组件 [P].

克劳斯·布施 ;

京特·戴恩哈特 ;

亚历山大·赖因哈德 ;

克里斯托夫·维斯纳 .

中国专利 :CN101873789B ,2010-10-27

[4]

基板冷却系统、基板处理装置、静电吸盘及基板冷却方法 [P].

古屋敦城 .

中国专利 :CN103107119B ,2013-05-15

[5]

静电吸盘 [P].

后藤义信 .

中国专利 :CN101533798A ,2009-09-16

[6]

冷却组件、冷却系统和使用冷却系统的方法 [P].

D·J·麦克米伦 ;

E·L·马内维奇 ;

A·B·鲍尔 ;

S·L·斯塔德利 .

美国专利 :CN120101547A ,2025-06-06

[7]

冷却组件和车辆智能冷却系统 [P].

蒋剑 ;

左志 ;

刘叶 .

中国专利 :CN207499962U ,2018-06-15

[8]

冷却组件和车辆智能冷却系统 [P].

蒋剑 ;

左志 ;

刘叶 .

中国专利 :CN107620627A ,2018-01-23

[9]

冷却组件和车辆智能冷却系统 [P].

蒋剑 ;

左志 ;

刘叶 .

中国专利 :CN107620627B ,2024-03-12

[10]

冷却设备、电路组件和冷却系统 [P].

K·B·利 ;

J·弗兰兹 ;

E·萨利纳斯 .

中国专利 :CN110958806B ,2020-04-03

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101452332191 IPC(主分类):H01L 21/68 专利号:ZL028240979 变更事项:专利权人变更前权利人:TOTO株式会社变更后权利人:TOTO株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本福冈县北九州市变更后权利人:日本福冈县北九州市变更事项:专利权人变更前权利人:佳能安内华株式会社;长州产业株式会社变更后权利人:佳能安内华株式会社登记生效日:20120809
2007-02-07	授权	授权
2012-09-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101452332190 IPC(主分类):H01L 21/68 专利号:ZL028240979 变更事项:专利权人变更前:TOTO株式会社变更后:TOTO株式会社变更事项:地址变更前:日本福冈县北九州市变更后:日本福冈县北九州市变更事项:专利权人变更前:安内华株式会社;长州产业株式会社变更后:佳能安内华株式会社;长州产业株式会社
2005-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-03-23	公开	公开
2018-01-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20021203 授权公告日:20070207 终止日期:20161203
2007-10-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更事项:专利权人变更前:东陶机器株式会社变更后:TOTO株式会社变更事项:地址变更前:日本福冈县北九州市变更后:日本福冈县北九州市变更事项:共同专利权人变更前:安内华株式会社;长州产业株式会社变更后:安内华株式会社;长州产业株式会社