共 50 条
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一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920944200.0
申请日：
2019-06-21
公开(公告)号：
CN210550370U
公开(公告)日：
2020-05-19
发明(设计)人：
赵德文
路新春
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园1号
IPC主分类号：
B24B3712
IPC分类号：
B24B3714
B24B4104
B24B37013
B24B4910
B24B4916
代理机构：
北京华进京联知识产权代理有限公司 11606
代理人：
魏朋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-19 | 授权 | 授权 |