一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121404921.6
申请日
2021-06-23
公开(公告)号
CN215828923U
公开(公告)日
2022-02-15
发明(设计)人
徐永根 周波
申请人
申请人地址
314413 浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇联保路22号(自主申报)
IPC主分类号
C30B3500
IPC分类号
C30B2906
代理机构
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253
代理人
王家蕾
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种直拉硅单晶炉防漏硅的排气管道装置 [P]. 
高建芳 ;
梁宇飞 ;
张红霞 ;
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[2]
一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道 [P]. 
娄中士 ;
王林 ;
李亚哲 ;
郑海峰 ;
张颂越 ;
孙毅 .
中国专利 :CN204752905U ,2015-11-11
[3]
一种新型单晶炉排气管道结构 [P]. 
周波 .
中国专利 :CN215856463U ,2022-02-18
[4]
一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道 [P]. 
娄中士 ;
王林 ;
李亚哲 ;
郑海峰 ;
张颂越 ;
孙毅 .
中国专利 :CN104846432A ,2015-08-19
[5]
一种单晶炉排气管道 [P]. 
张伟灵 ;
苏铭华 ;
沈惠群 ;
张鑫宇 ;
董永波 ;
吕刃 .
中国专利 :CN220364618U ,2024-01-19
[6]
一种单晶炉排气管道及单晶炉 [P]. 
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中国专利 :CN211522363U ,2020-09-18
[7]
单晶炉及其排气管道 [P]. 
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中国专利 :CN202766661U ,2013-03-06
[8]
一种单晶炉排气管道的清理装置 [P]. 
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刘瑞强 ;
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[9]
一种单晶炉台排气管道清理装置 [P]. 
潘军明 ;
张骏凯 ;
王永谦 ;
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[10]
一种工业用易清理排气管道 [P]. 
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