一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520385238.0

申请日：

2015-06-04

公开(公告)号：

CN204752905U

公开(公告)日：

2015-11-11

发明(设计)人：

娄中士王林李亚哲郑海峰张颂越孙毅

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

C30B2906

IPC分类号：

C30B1500

代理机构：

天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211

代理人：

李莉华

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-29	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758032433 IPC(主分类):C30B 29/06 专利号:ZL2015203852380 申请日:20150604 授权公告日:20151111 放弃生效日:20170825
2015-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道 [P].

娄中士 ;

王林 ;

李亚哲 ;

郑海峰 ;

张颂越 ;

孙毅 .

中国专利 :CN104846432A ,2015-08-19

[2]

一种直拉硅单晶炉防漏硅的排气管道装置 [P].

高建芳 ;

梁宇飞 ;

张红霞 ;

郝勇 ;

樊国庆 ;

李娜 .

中国专利 :CN209584418U ,2019-11-05

[3]

一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构 [P].

徐永根 ;

周波 .

中国专利 :CN215828923U ,2022-02-15

[4]

一种单晶炉排气管道 [P].

张伟灵 ;

苏铭华 ;

沈惠群 ;

张鑫宇 ;

董永波 ;

吕刃 .

中国专利 :CN220364618U ,2024-01-19

[5]

具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场 [P].

曹建伟 ;

傅林坚 ;

石刚 ;

叶欣 ;

邱敏秀 .

中国专利 :CN202202015U ,2012-04-25

[6]

单晶炉及其排气管道 [P].

白剑铭 ;

王晓雷 .

中国专利 :CN202766661U ,2013-03-06

[7]

一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置 [P].

李博一 ;

梁永生 ;

冉瑞应 ;

栗宁 ;

杨东 .

中国专利 :CN206015134U ,2017-03-15

[8]

具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场 [P].

曹建伟 ;

傅林坚 ;

石刚 ;

叶欣 ;

邱敏秀 .

中国专利 :CN102312284A ,2012-01-11

[9]

一种单晶炉排气管道及单晶炉 [P].

陈海云 .

中国专利 :CN211522363U ,2020-09-18

[10]

一种单晶炉排气管道疏通装置 [P].

张学强 ;

黄永恩 ;

范全东 ;

路鹏 .

中国专利 :CN203820930U ,2014-09-10

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